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气体质量流量计是否好用,有什么优点及注意事项?
- 2019-12-09-

气体质量流量计测量的是气体的质量流量,在气体压力变化的情况下,质量流量控制器能够精确地控制气体的流量,就是因为它测量的是气体的质量流量,而不是体积流量。

气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示,质量流量的单位为:

SCCM—标准毫升/分钟

SLM—标准升/分钟

气体的标准状态为:0℃,101.325KPa

因为在标准状态下,气体的密度是一个常数,密度乘以体积流量就是质量流量,所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

注意事项

禁用流量介质

使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时在气路中加装过滤器干燥器等。如果MFC或MFM出口接有液体原瓶,应在流量出口加装单向阀,防止液体回流损坏MFC或MFM。

使用腐蚀性气体问题

MFC或MFM通道材料为0Cr17Ni14Mo2(相当于316L不锈钢),氟橡胶等。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下,可测量一般的腐蚀性气体。使用于氨气、有机溶剂蒸汽(如丙酮等)或其它强腐蚀性气体(如BCL3、BBr3等)时,应在订货时特殊注明,以便更换密封材料。

阀门密封问题

MFC的电磁阀是调节阀,不是截止阀,不能当截止阀使用,用户应另配截止阀。特别是使用腐蚀性气体时,通常应在MFC进出口处各加一个截止阀,以保证安全。长期工作后,如MFC阀口的漏气率在2%FS以内,属于正常情况。如果漏气大于满量程的2%,则应予以维修。

阀控操作问题

在操作阀门进行清洗后,不能直接转至“阀控”位工作,必须先将阀门置于“关闭”位,然后再转至“阀控”位工作。

安装位置问题

气体质量流量计/控制器安装时最好保持安装面水平,但对位置并不特别敏感,可以任意位置安装,非水平安装时如发现零点偏移,可调整零点后再工作。如果用户订货时注明安装位置,我公司可依此标定后出厂。

注意工作压差

对于MFC要特别注意工作介质的气压,应注意使MFC进出气两端的工作压差保持在治标范围内。特别是在高压下工作时,气压差过大,流量将无法关闭或调小。在使用大流量的MFC时,要注意适当加粗管道和减小气源内阻,如工作压差小于要求值,有可能流量达不到满量程值。


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