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真空镀膜行业中.氩气的流量大小具体如何控制?
- 2019-10-26-

推荐使用热式气体质量流量控制器(MFC)

1.热式气体质量流量控制器(MFC),里面有个温度传感器和速度传感器,流量大小通过高性能比例电磁阀,通过0-5V电压调节阀芯开度大小或频率来精确控制介质的流量大小

2.热气气体质量流量控制器,AE流量计,可控量程2SCCM-200SLM,流量大小,客户只要是在这个范围的流量需求,都能为您选型,通过真空镀膜行业的一些客户了解到 ,他们一般使用的都是微小流量的MFC,集中在100SCCM/MIN   500SCCM/MIN  1000SCCM/MIN

3.进口压力:最大1Mpa   正常工作压力:0.5Mpa  MFC不受气体的温度和压力影响它的精度和重复性精度,响应时间快1秒以内达到设定值

4.一般MFC都是以氮气标定的,如客户需要的是测量Ar流量,出厂时,厂家就按氩气标定好,也可提供氩气和氮气之间换算的比列系数,你只要乘以这个系数就可以,进气口压力大小都是一样的 

可咨询一些真空镀膜行业相关技术员。例如东莞德欣电子科技有限公司。

广东省真空度膜行业是比较兴旺的。


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