推荐使用热式气体质量流量控制器（MFC）

1.热式气体质量流量控制器（MFC），里面有个温度传感器和速度传感器，流量大小通过高性能比例电磁阀，通过0-5V电压调节阀芯开度大小或频率来精确控制介质的流量大小

2.热气气体质量流量控制器，AE流量计，可控量程2SCCM-200SLM，流量大小，客户只要是在这个范围的流量需求，都能为您选型，通过真空镀膜行业的一些客户了解到 ，他们一般使用的都是微小流量的MFC，集中在100SCCM/MIN   500SCCM/MIN  1000SCCM/MIN

3.进口压力：最大1Mpa   正常工作压力：0.5Mpa  MFC不受气体的温度和压力影响它的精度和重复性精度，响应时间快1秒以内达到设定值

4.一般MFC都是以氮气标定的，如客户需要的是测量Ar流量，出厂时，厂家就按氩气标定好，也可提供氩气和氮气之间换算的比列系数，你只要乘以这个系数就可以，进气口压力大小都是一样的 

可咨询一些真空镀膜行业相关技术员。例如东莞德欣电子科技有限公司。

广东省真空度膜行业是比较兴旺的。