质量流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表.即利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。质量流量计的传感器有两只标准级的RTD,一只用来做热源,一只用来测量流体温度,当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,再通过微电子控制技术,将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

　　质量流量计特点：

　　1、专利技术的CMOS传感器设计，质量流量计杜绝了零点漂移的问题。

　　2、小于150ms的超快速的响应时间。

　　3、5sccm到450slm的量程范围内质量流量计确保了精确和可重复的流量测量和控制。

　　4、质量流量计具有高精度的测量精度（读数值的0.5%+0.3%的全量程）。

　　5、质量流量计独特的内部抗紊流设计，可以消除因上游的压力变化而导致下游气体流量的变化。

　　6、多达6个点的流量校准点，比很多其他品牌质量流量计5个点的校准点，意味着更好的线性度；特别是在0-20%的流量控制范围。

　　7、只有1秒的热机时间,减少因MFC预热时间而影响生产。

　　8、全量程1%-100%的超宽量程比控制，质量流量计为用户提供更广的应用选择。

　　9、质量流量计可以显示流量设定值，实际测量值，气体类型以及累积气体消耗量等信息。