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质量流量计的几点特点介绍
- 2019-09-23-

质量流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表.即利用流体流过发热物体时,发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。质量流量计的传感器有两只标准级的RTD,一只用来做热源,一只用来测量流体温度,当流体流动时,两者之间的温度差与流量的大小成线性关系,再通过微电子控制技术,将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。

  质量流量计特点:

  1、专利技术的CMOS传感器设计,质量流量计杜绝了零点漂移的问题。

  2、小于150ms的超快速的响应时间。

  3、5sccm到450slm的量程范围内质量流量计确保了精确和可重复的流量测量和控制。

  4、质量流量计具有高精度的测量精度(读数值的0.5%+0.3%的全量程)。

  5、质量流量计独特的内部抗紊流设计,可以消除因上游的压力变化而导致下游气体流量的变化。

  6、多达6个点的流量校准点,比很多其他品牌质量流量计5个点的校准点,意味着更好的线性度;特别是在0-20%的流量控制范围。

  7、只有1秒的热机时间,减少因MFC预热时间而影响生产。

  8、全量程1%-100%的超宽量程比控制,质量流量计为用户提供更广的应用选择。

  9、质量流量计可以显示流量设定值,实际测量值,气体类型以及累积气体消耗量等信息。

 


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