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东莞市德欣电子科技有限公司
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D-600系列产品选型标准D+600SeriesProductsSelectionGuide
- 2019-08-01 -

型号ModelNumber

DSN-D600CD气体流量节制体质量器MFC    DSN-D600MD气体质量流量计MFM

应用气体Gas

标定气体;N2calibrationgas;N2

混合气体详见仿单Gas mixture(please consuit for instruction book)

满量程流量FIowRangeFuIIScale

2SCCM  30SCCM   20SCCN   1SLM

10SCCM   50SCCM   300SCCM   2SLM

20SCCM   100SCCM   500SCCM   3SLM

5SLM   10SLM   20SLM   30SLM

非凡量程详见仿单Gas mixture(please consuit for instruction book)

收支气接口InIet andOutlet Fittings

SwagelokΦ3mm  SwagelokΦ6mm  Swagelok1/4*

非凡讨论详见仿单Gas mixture(please consuit for instruction book)

密封材料Seal Materials

氟橡胶viton   氯丁橡胶(耐氨橡胶)Neoprene

装置位置Mounting Position

程度装置Horizontal   平躺装置HESD(HorizontalEdgeSideDown)

进气口向上垂直装置VIU(VerticallnletUp)进气口向下垂直装置VID(VerticallnletDown)

程度底座向上装置LBIU(Levelbaseinstallation up)

出厂默许:

外罩及标签笔墨:中文

事情压差规模:(0.05——0.3Mpa)(7.3——43.5psid)

耐压:3Mpa(435.1psig)标定温度:(22±2)℃

非凡要求:

列如:外罩及标签笔墨:英文:

非凡量程:4SLM:混合气体要说明比例:N2(60%) co(40%)

事情压差规模:(0.05——0.3)Mpa

标定温度:40℃及其他非凡要求等。

产物目标ProductsSpecification

型号

D-600CD/MD

流量规格(N2)

(0-5.10.20.30.50.100.200.300.500)SCCM;(0-1.2.3.5.10.20.30)SLM

节制规模

2%-100%F.S/0%-100%F.S

精准度

±1%F.S/±2%F.S

线性

±0.5%F.S

反复精准

±0.2%F.S

相应工夫

≤3sec

事情压差规模

(0.05-03)Mpa

最大耐压

10Mpa

事情环境温度

5-65℃

漏率

1×10-8atm·cc/secHe

密封材质

氟橡胶viton

电气衔接

8pin(minisplug)

输入/输出旌旗灯号

RS231/RS485;(0-5)VDC/(4-20)mA

电源

12-24VDC;1A

尺度讨论

SwagelokΦ3. Φ6. Φ10;swagelok1/8‘。1/4’;VCRΦ3. Φ6;VCR1/8’.1/4’

外形尺寸

138*28*132mm

分量约

1.0kg

MODEL

L

W

H

S

L1

L2

D-600

138

28

132

12.8

18

69


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