D-600系列产品选型标准D+600SeriesProductsSelectionGuide_新闻动态

D-600系列产品选型标准D+600SeriesProductsSelectionGuide

- 2019-08-01-

型号ModelNumber

DSN-D600CD气体流量控制体质量器MFC DSN-D600MD气体质量流量计MFM

使用气体Gas

标定气体;N2calibrationgas;N2

满量程流量FIowRangeFuIIScale

2SCCM 30SCCM 20SCCN 1SLM

10SCCM 50SCCM 300SCCM 2SLM

20SCCM 100SCCM 500SCCM 3SLM

5SLM 10SLM 20SLM 30SLM

特殊量程详见说明书Gas mixture（please consuit for instruction book）

SwagelokΦ3mm SwagelokΦ6mm Swagelok1/4*

特殊接头详见说明书Gas mixture（please consuit for instruction book）

密封材料Seal Materials

氟橡胶viton 氯丁橡胶（耐氨橡胶）Neoprene

安装位置Mounting Position

水平安装Horizontal 平躺安装HESD(HorizontalEdgeSideDown)

进气口向上垂直安装VIU（VerticallnletUp）进气口向下垂直安装VID(VerticallnletDown)

水平底座向上安装LBIU(Levelbaseinstallation up)

出厂默认：

外罩及标签文字：中文

工作压差范围：（0.05——0.3Mpa）（7.3——43.5psid）

耐压：3Mpa（435.1psig）标定温度：（22±2）℃

特殊要求：

列如：外罩及标签文字：英文：

特殊量程：4SLM：混合气体要注明比例：N2（60%）+co（40%）

工作压差范围：（0.05——0.3）Mpa

标定温度：40℃及其他特殊要求等。

产品指标ProductsSpecification

型号	D-600CD/MD
流量规格（N2）	(0-5.10.20.30.50.100.200.300.500)SCCM;(0-1.2.3.5.10.20.30)SLM
控制范围	2%-100%F.S/0%-100%F.S
金准度	±1%F.S/±2%F.S
线性	±0.5%F.S
重复精准	±0.2%F.S
响应时间	≤3sec
工作压差范围	（0.05-03）Mpa
最大耐压	10Mpa
工作环境温度	5-65℃
漏率	1×10-8atm·cc/secHe
密封材质	氟橡胶viton
电气连接	8pin（minisplug）
输入/输出信号	RS231/RS485;(0-5)VDC/(4-20)mA
电源	12-24VDC;1A
标准接头	SwagelokΦ3. Φ6. Φ10；swagelok1/8‘。1/4’；VCRΦ3. Φ6;VCR1/8’.1/4’
外形尺寸	13828132mm
重量约	1.0kg
MODEL	L	W	H	S	L1	L2
D-600	138	28	132	12.8	18	69