型号ModelNumber
DSN-D600CD气体流量控制体质量器MFC DSN-D600MD气体质量流量计MFM
使用气体Gas
标定气体;N2calibrationgas;N2
混合气体详见说明书Gas mixture(please consuit for instruction book)
满量程流量FIowRangeFuIIScale
2SCCM 30SCCM 20SCCN 1SLM
10SCCM 50SCCM 300SCCM 2SLM
20SCCM 100SCCM 500SCCM 3SLM
5SLM 10SLM 20SLM 30SLM
特殊量程详见说明书Gas mixture(please consuit for instruction book)
SwagelokΦ3mm SwagelokΦ6mm Swagelok1/4*
特殊接头详见说明书Gas mixture(please consuit for instruction book)
密封材料Seal Materials
氟橡胶viton 氯丁橡胶(耐氨橡胶)Neoprene
安装位置Mounting Position
水平安装Horizontal 平躺安装HESD(HorizontalEdgeSideDown)
进气口向上垂直安装VIU(VerticallnletUp)进气口向下垂直安装VID(VerticallnletDown)
水平底座向上安装LBIU(Levelbaseinstallation up)
出厂默认:
外罩及标签文字:中文
工作压差范围:(0.05——0.3Mpa)(7.3——43.5psid)
耐压:3Mpa(435.1psig)标定温度:(22±2)℃
特殊要求:
列如:外罩及标签文字:英文:
特殊量程:4SLM:混合气体要注明比例:N2(60%)+co(40%)
工作压差范围:(0.05——0.3)Mpa
标定温度:40℃及其他特殊要求等。
产品指标ProductsSpecification
型号 | D-600CD/MD | |||||
流量规格(N2) | (0-5.10.20.30.50.100.200.300.500)SCCM;(0-1.2.3.5.10.20.30)SLM | |||||
控制范围 | 2%-100%F.S/0%-100%F.S | |||||
金准度 | ±1%F.S/±2%F.S | |||||
线性 | ±0.5%F.S | |||||
重复精准 | ±0.2%F.S | |||||
响应时间 | ≤3sec | |||||
工作压差范围 | (0.05-03)Mpa | |||||
最大耐压 | 10Mpa | |||||
工作环境温度 | 5-65℃ | |||||
漏率 | 1×10-8atm·cc/secHe | |||||
密封材质 | 氟橡胶viton | |||||
电气连接 | 8pin(minisplug) | |||||
输入/输出信号 | RS231/RS485;(0-5)VDC/(4-20)mA | |||||
电源 | 12-24VDC;1A | |||||
标准接头 | SwagelokΦ3. Φ6. Φ10;swagelok1/8‘。1/4’;VCRΦ3. Φ6;VCR1/8’.1/4’ | |||||
外形尺寸 | 138*28*132mm | |||||
重量约 | 1.0kg | |||||
MODEL | L | W | H | S | L1 | L2 |
D-600 | 138 | 28 | 132 | 12.8 | 18 | 69 |
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