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东莞市德欣电子科技有限公司
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D-600系列产品选型标准D+600SeriesProductsSelectionGuide
- 2019-08-01-

型号ModelNumber

DSN-D600CD气体流量控制体质量器MFC    DSN-D600MD气体质量流量计MFM

使用气体Gas

标定气体;N2calibrationgas;N2

混合气体详见说明书Gas mixture(please consuit for instruction book)

满量程流量FIowRangeFuIIScale

2SCCM  30SCCM   20SCCN   1SLM

10SCCM   50SCCM   300SCCM   2SLM

20SCCM   100SCCM   500SCCM   3SLM

5SLM   10SLM   20SLM   30SLM

特殊量程详见说明书Gas mixture(please consuit for instruction book)

进出气接口InIet andOutlet Fittings

SwagelokΦ3mm  SwagelokΦ6mm  Swagelok1/4*

特殊接头详见说明书Gas mixture(please consuit for instruction book)

密封材料Seal Materials

氟橡胶viton   氯丁橡胶(耐氨橡胶)Neoprene

安装位置Mounting Position

水平安装Horizontal   平躺安装HESD(HorizontalEdgeSideDown)

进气口向上垂直安装VIU(VerticallnletUp)进气口向下垂直安装VID(VerticallnletDown)

水平底座向上安装LBIU(Levelbaseinstallation up)

出厂默认:

外罩及标签文字:中文

工作压差范围:(0.05——0.3Mpa)(7.3——43.5psid)

耐压:3Mpa(435.1psig)标定温度:(22±2)℃

特殊要求:

列如:外罩及标签文字:英文:

特殊量程:4SLM:混合气体要注明比例:N2(60%)+co(40%)

工作压差范围:(0.05——0.3)Mpa

标定温度:40℃及其他特殊要求等。

产品指标ProductsSpecification

型号

D-600CD/MD

流量规格(N2)

(0-5.10.20.30.50.100.200.300.500)SCCM;(0-1.2.3.5.10.20.30)SLM

控制范围

2%-100%F.S/0%-100%F.S

金准度

±1%F.S/±2%F.S

线性

±0.5%F.S

重复精准

±0.2%F.S

响应时间

≤3sec

工作压差范围

(0.05-03)Mpa

最大耐压

10Mpa

工作环境温度

5-65℃

漏率

1×10-8atm·cc/secHe

密封材质

氟橡胶viton

电气连接

8pin(minisplug)

输入/输出信号

RS231/RS485;(0-5)VDC/(4-20)mA

电源

12-24VDC;1A

标准接头

SwagelokΦ3. Φ6. Φ10;swagelok1/8‘。1/4’;VCRΦ3. Φ6;VCR1/8’.1/4’

外形尺寸

138*28*132mm

重量约

1.0kg

MODEL

L

W

H

S

L1

L2

D-600

138

28

132

12.8

18

69

 

                                               


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