用途

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。气体质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量。它们在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他各种类型的分析仪器。

特点

质量流量控制器和气体质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽（可以使用在高压及真空系统）等特点。操作使用方便，对安装位置不敏感可任意位置安装。配合流量显示仪或气体流量控制器显示仪对气体的瞬时流量和累积流量进行精确测量和控制使用，也可直接同计算机连接，非常方便的实现自动控制。