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DSN系列气体质量流量计使用时注意事项
- 2019-12-09-

注意事项

1. 仪表盒内部电器元件在出厂前均以调整好,用户不得随意自行调整。 

2 .使用气体必须净化,切忌粉尘、液体和油污。必要时,须在气路中加装过滤器等。

如果流量控制器出口接有液体源瓶,应在流量控制器出口安装单向阀,防止液体

回流损坏流量控制器。 

3. 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 

控制器通道采用的材料为:SUS316L 不锈钢, 聚四氟乙烯,氟橡胶等耐蚀材料。

在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下,可以用于控制一般

的腐蚀性气体。使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时,应在定货时声明。使用

特殊腐蚀性气体,所有密封材料都要作相应改变。 

4 .安装位置问题 

本控制器安装时最好保持安装面水平,但对位置并不特别敏感,可以任意位置

安装,非水平位安装时若发现零点偏移,可调整零点后再工作。如果用户订货

时注明安装位置,我厂也可根据用户的安装位置进行标定后出厂。 

5 .注意工作压差 

要特别注意工作介质的气压,应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在

指标范围之内。工作压差不在规定的范围内,流量将无法关闭或调小。在使用

大流量的质量流量控制器时,要注意适当加粗管道和减小气源内阻,若工作压

差小于要求值,有可能流量达不到满量程值。 

控制器电磁调节阀并不能当做气路截止阀使用,一般情况下用户应在控制器进

气口前安装电磁(手动)截止阀。(有必要时在控制器前后都应加装) 

6. 阀控操作注意: 

在阀控操作为“清洗”后不能直接转为“阀控”状态,应先切换至“关闭”状

态。 

 

7 .标定和不同气体的换算 

① 本控制器出厂用氮气(N2)标定

质量流量的单位规定 

SCCM (标准毫升/分);SLM

(标准升/分) 

CCM(毫升/分); LM

(升/分) 

标定状态规定 

温度 273.15K0℃;气压

101325Pa(760mmHg) 

温度 25℃;      气压

101325pa 

F.S(Full Scale) 满量程值 

 ② 用户使用其它气体时,可以通过气体质量流量转换系数进行换算,将质量控制

器显示出的流量读数,与某使用气体的转换系数相乘,即得该被测气体在标准状态下

的质量流量。如果用户使用混合气体,可以通过附录介绍的方法,计算出混合气体的

转换系数。 

③ 气体转换,通常气体的切换不需要利用气体转换系数,只需要在设定画面,如

下图: 

 利用 将光标移至,,选择当前介质后。(装置已内置

60 种常用气体)将光标移至, 确定退出即可。 

此时,装置将自动完成。显示的瞬时流量为当前选择的气体介质的实际流量。不需要

人工利用气体转换系数转换。 

8 .出厂初始的模式为:一般工作模式 ,里面的分段参数里没有修改和查看的权限!

只有在软件端把 MFC 或 DSN2000B 设为分段模式,那么在键盘上才能设定和查

看分段参数。 

9. 时间的累积精度到分钟 [时] [分],如果要精确到 秒 (S) 上的时间累积功能,

请运用分段里的多段组合功能,分段中的每段最高为 99 分钟 59S,可以组合几

段,设定分钟和秒,设定同样流量,后选择分段关闭实现。 

10. 流量的累积小数解决  

方法一: 

比如:量程为 5.000SCCM,需要累积 3.230SCCM 流量值 

可以使用小数功能:输入 3.230SCCM 的值 

方法二:相对处理 

因为累积值响应整数相对小数较为准确,把累积流量值化为整数 323,把量程

也放大 100 倍,相应调节为 500.0 就可以实现,但是这个比例处理是相对的,

但你如果在 DSN2000B 介面读取每分钟的流量值还要/100 来还原真实的流量值,

在流量设定值上,也要考虑相对的放大值来设定。 

11. 复位 

此功能请参照“6.11 时间组态界面”(P20) 

是用“时间组态界面”进行复位。复位后,组态自动恢复到原始状态。客户需

要重新进入组态,照实际进行重新设置。 

 


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