注意事项

1. 仪表盒内部电器元件在出厂前均以调整好，用户不得随意自行调整。 

2 .使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。

如果流量控制器出口接有液体源瓶，应在流量控制器出口安装单向阀，防止液体

回流损坏流量控制器。 

3. 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 

控制器通道采用的材料为：SUS316L 不锈钢, 聚四氟乙烯，氟橡胶等耐蚀材料。

在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般

的腐蚀性气体。使用强腐蚀性气体和有机溶剂气体时，应在定货时声明。使用

特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。 

4 .安装位置问题 

本控制器安装时最好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置

安装，非水平位安装时若发现零点偏移，可调整零点后再工作。如果用户订货

时注明安装位置，我厂也可根据用户的安装位置进行标定后出厂。 

5 .注意工作压差 

要特别注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在

指标范围之内。工作压差不在规定的范围内，流量将无法关闭或调小。在使用

大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压

差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。 

控制器电磁调节阀并不能当做气路截止阀使用，一般情况下用户应在控制器进

气口前安装电磁（手动）截止阀。（有必要时在控制器前后都应加装） 

6. 阀控操作注意： 

在阀控操作为“清洗”后不能直接转为“阀控”状态，应先切换至“关闭”状

态。 

7 .标定和不同气体的换算 

① 本控制器出厂用氮气（N2）标定

 ② 用户使用其它气体时，可以通过气体质量流量转换系数进行换算，将质量控制

器显示出的流量读数，与某使用气体的转换系数相乘，即得该被测气体在标准状态下

的质量流量。如果用户使用混合气体，可以通过附录介绍的方法，计算出混合气体的

转换系数。 

③ 气体转换，通常气体的切换不需要利用气体转换系数，只需要在设定画面，如

下图： 

 利用 ， 将光标移至， 用,选择当前介质后。（装置已内置

60 种常用气体）将光标移至， 确定退出即可。 

此时，装置将自动完成。显示的瞬时流量为当前选择的气体介质的实际流量。不需要

人工利用气体转换系数转换。 

8 .出厂初始的模式为：一般工作模式 ,里面的分段参数里没有修改和查看的权限！

只有在软件端把 MFC 或 DSN2000B 设为分段模式，那么在键盘上才能设定和查

看分段参数。 

9. 时间的累积精度到分钟 [时] [分],如果要精确到 秒 (S) 上的时间累积功能，

请运用分段里的多段组合功能,分段中的每段最高为 99 分钟 59S，可以组合几

段，设定分钟和秒,设定同样流量，后选择分段关闭实现。 

10. 流量的累积小数解决  

方法一： 

比如：量程为 5.000SCCM,需要累积 3.230SCCM 流量值 

可以使用小数功能：输入 3.230SCCM 的值 

方法二：相对处理 

因为累积值响应整数相对小数较为准确，把累积流量值化为整数 323，把量程

也放大 100 倍，相应调节为 500.0 就可以实现，但是这个比例处理是相对的，

但你如果在 DSN2000B 介面读取每分钟的流量值还要/100 来还原真实的流量值，

在流量设定值上，也要考虑相对的放大值来设定。 

11. 复位 

此功能请参照“6.11 时间组态界面”（P20） 

是用“时间组态界面”进行复位。复位后，组态自动恢复到原始状态。客户需

要重新进入组态，照实际进行重新设置。