欢迎访问东莞市德欣电子科技有限公司官方网站!客户对每件产品的放心和满意是我们一生的追求,用我们的努力,解决您的烦恼!
东莞市德欣电子科技有限公司
自主研发、设计、生产DSN系列产品-气体质量流量控制器
全国咨询热线
0769-22406633
133 6064 5844
Banner
首页 > 行业知识 > 内容
常见问题/气体质量流量控制器
- 2019-08-14-

实际使用中发现,当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符,其实原因很简单,因为在MFC行业中,有一种参数叫CF,即气体转换系数(下面简称CF)。而MFC行业中又把N2(氮气)定义为标准气体M。N2的C值为1.00,其他的气体以氮气为中心,分布在0.1到1.4左右。


CF大余1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Ar(氩)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02(氧气)、H2(氢气)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话,简单的分析其比率,用各自的CF值计算即可。我觉得如果稍微了解气体的话,就会分出苗条的轻量级和大力士的重量级。虽然有一部分例外,但一般是这样的。


假设某台MFC是用N2标定的,但是实际流过的气体是He,实际的流量比N2多。各个厂家的He的CF值稍有不同,但大约都在1.4,所以简单的说就是He气相同示数时,是N2的1.4倍流量。反过来,如果N2流过He的MFC,实际的流量大约是1÷1.4=约0.71,少30%的流量

因此控制器发现流量不准时,考虑出厂标定CF是否与你的气源相同。


德欣电子德欣电子
网站二维码网站二维码

技术支持:【东莞竞争力粤ICP备16122345号-2

地址:广东省东莞市寮步镇坑口工业区振兴四巷42栋 电话:0769-33389697

气体质量流量计厂家批发_热式质量流量计定制价格_流量显示控制仪参数原理_多路流量控制器特惠价