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质量流量计流量转换系数与方法
- 2019-08-13-

用户在保证安全的前提下使用其它未经标定过的气体时,可以通过气体质量流量转换系数进行换算。将本产品显示出的流量读数,先转换为氮气(N2)的质量流量,再与某使用气体的转换系数相乘,即得该被测气体在标准状态下的质量流量。如果用户使用混合气体,可以通过本方法,计算出混合气体的转换系数。如果是多组份气体的质量流量控制器/流量计,请咨询德欣科技,德欣科技会用理论计算,实验修正的方法给出多组份气体的转换系数。

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1、流量的标定和不同气体的换算

本产品出厂用氮气(N2)作为一般介质对其他气体标定。

质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分)   SLM(标准升/分)

标定状态规定为:温度0℃;

气压101325Pa(760mmHg)

    2、气体质量流量转换系数使用说明

质量流量控制器/质量流量计出厂时一般用氮气(N2) 标定,实际使用中如果是其它气体,必要时可进行读数修正。方法是以流量显示仪的流量乘以流量转换系数。

例:一个出厂标定为1SLM(N2) 的 MFC,通氩气气体时显示的流量为1SLM,可从附录查得氩气的转换系数为1.415 ,则氩气的实际流量为1×1.415 即1.415SLM。

随着自动化程度的提高,气体质量流量控制器/质量流量计越来越多的在各行各业中使用。用户出于对生产成本以及实验要求介质不确定的前提考虑下,可能会使用到多种介质的不同气体,因此就要求气体与气体之间系数可以相互转换及产品可以通用。


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