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质量流量控制器工作原理和结构
- 2019-06-17 -

质量流量控制器工作原理:

质量流量计采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿),将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量测量电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀,通过闭环控制来控制通过的流量,并使之与设定的流量相等,分流器决定主通道的流量,图为MFC和流量显示仪连接后的工作原理图:

                          
多路流量控制器,控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比,满量程检测输出电压为5VDC,气体质量流量控制器的检测范围为2~100%满刻度(量程比为50:1),流量分辨率为0.1%满刻度。 
注意:气体质量流量控制器的“阀控"线置于“清洗"位时也可以当成气体质量流量计使用,这时,流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是,一旦输出电压超过5VDC,流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时,流量显示是不准确的,而且还可能出现流量增大、显示减小的现象,但这些不会损坏质量流量控制器。 

 

质量流量计和质量流量控制器结构: 

                                

质量流量计含流量传感器、分流器通道和流量放大、线性化及温度补偿电路组成。增加电磁阀和PID控制电路就构成了流量控制器。 

产品特点:

·产品集成度高,集瞬间流量显示、累计流量显示和信号输出一体,并可实现自动调节、控制阀门

·微流量感热式传感器采用大规模集成电路生产技术和材料加工技术,使流量计的微流量测量灵敏度显著提升

·微小流量气体测量,ml/min级的微流量测控,实现微小流量测量的数字化

·单个芯片的卓越流量特性的微处理技术,使流量计的量程范围大大提高

·机电一体化优化设计,智能化的数据处理技术,使流量计具有更好的重复性,实现了计量的准确、可靠

·结构的优化,流量计的压力损失达到*小化

·采用国际*新的传感技术,使流量计工作更稳定、可靠

·开创零点自校功能,测量更准确

·多种气体实际标定,全量程补偿

·快速响应、数据自动存储,配合上位机可实现网络集中管理

·规格齐全,量程范围宽,可根据用户要求单独标定

·精度等级高,满足用户高精度测量要求

·独有的流量计报警功能,使监控更可靠

·操作、设置界面友好、简便,可根据需要自行设定相关参数

·运用行业多,是科研院所、分析仪表行业、半导体行业、光伏行业、玻璃镀膜、石油化工行业微小气体流量控制产品升级换代的优选

技术参数:

·测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外)

·测量管径:DN3,4,6,8,10

·流量范围:30,60,80,100,300,600,800,1000sccm;10,20,30,50,80,100SLPM             

·流量测量准确度:±1.5%FS;±2.5%FS

·工作温度范围:-25℃-55℃

·工作压力范围:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa

·供电电源:24VDC±10%

·输出信号:4-20mA,RS485通讯

·环境温度:-25℃-55℃

·显示位数:瞬时流量为三位,累积流量10位

 

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