气体百科

产品名称:DSN-S 热式气体质量流量计

产品型号:DSN-S

详细说明

特性:产品名称:气体质量流量控制器(MFC/MFM)

标准量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM;
0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM;
准精度:±1%F.S;  

 重复精度:±0.2%F.S
响应时间:电特性 <10sec 气特性<1~4sec
线性:±(0.5~1)%F.S  

工作压差范围:0.05~0.3MPa
耐压:3,10MPa; 

 工作环境温度:5~45℃
输入输出信号电压:0~+5.00V
电源:+15V500mA、-15V500mA(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA)
电连接器:D14pin
外形尺寸:130*28*121mm
重量:约1.0kg
接口尺寸:Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....
          VCR接头:Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........

 

DSN系列气体质量流量控制器, 即称Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

转到页头】【返回